深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
股票代码：688785
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（简称 “恒运昌”，股票代码：688785），2013 年 3 月 19 日成立，2026 年 1 月 28 日登陆科创板，是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，专注于等离子体射频电源系统等产品的研发、生产与销售，打破海外巨头长期垄断，成为国产替代标杆企业。公司法定代表人、实控人为乐卫平，总部位于深圳宝安区，注册资本 5077.11 万元，是国内首家出货过亿元、首家实现支持先进制程的等离子体射频电源系统量产的国产厂商。
恒运昌深耕等离子体真空技术领域十余年，聚焦半导体产业 “卡脖子” 环节，核心产品应用于半导体制造的刻蚀、薄膜沉积等关键工艺，同时拓展至光伏、显示面板、精密光学镀膜等高端制造领域。公司秉持 “自主创新、国产替代、全球布局” 战略，致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型企业。
公司主营业务为等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源及配件的研发、生产、销售与技术服务，同时引进真空获得、流体控制类核心零部件，为客户提供等离子体工艺核心零部件整体解决方案。业务结构分为自研产品、引进产品、技术服务三大板块，其中自研产品为核心收入来源，2025 年自研产品收入占比达 78.4%。
自研产品聚焦等离子体射频电源系统（含电源与匹配器），是半导体设备的核心动力部件，直接决定工艺稳定性与芯片良率。引进产品包括真空泵、质量流量计等，补充产品矩阵，满足客户一站式采购需求。技术服务涵盖射频电源系统原位替换、维修保养、工艺适配优化等，2025 年技术服务收入 2788.26 万元，同比大幅增长，成为新的业绩增长点。
下游客户覆盖国内头部半导体设备商与晶圆厂，核心客户包括拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等，产品配套中芯国际、长江存储等头部晶圆厂，是薄膜沉积、刻蚀环节的战略供应商。
（一）等离子体射频电源系统（核心产品）
为公司收入支柱，占主营业务收入超 80%，包含射频电源与射频匹配器两大核心组件，已迭代 CSL、Bestda、Aspen、Cedar 四代系列。CSL 系列为初代产品，满足中低端制程需求；Bestda 系列支持 28nm 制程，实现国产替代突破；Aspen 系列适配 7-14nm 先进制程，性能达国际先进水平，填补国内空白；Cedar 系列为新一代产品，瞄准 5nm 及以下前沿制程，计划 2026 年量产。产品功率覆盖 13.56MHz、27.12MHz 等主流频段，输出功率从数百瓦至数十千瓦，适配刻蚀、PECVD、ALD 等多种半导体工艺。
（二）等离子体激发装置
包括远程等离子体源（RPS）、射频离子源等，用于等离子体生成与调控，配套射频电源系统使用，提升工艺兼容性与稳定性，广泛应用于半导体薄膜处理、表面改性等场景。
（三）等离子体直流电源
涵盖 PVD 直流溅射电源、偏压电源等，适配光伏、显示面板、精密光学等领域的镀膜工艺，具备高稳定性、低纹波、快速响应等特点，2025 年相关产品收入稳步增长。
（四）配件及引进产品
配件包括滤波器、阻抗调整器、连接线缆等，保障电源系统稳定运行；引进产品包括真空泵、质量流量计等，完善真空与流体控制产业链配套，满足客户一体化采购需求。
恒运昌构建了完全自主可控的核心技术体系，形成三大基石技术与八大产品化支撑技术，覆盖信号采样、相位锁定、同步控制、功率放大、阻抗匹配等关键环节，打破海外技术壁垒。截至 2025 年 6 月 30 日，公司累计获得 261 项授权专利（发明专利 108 项），133 项发明专利在申请中，承担工信部、科技部三项国家级重大科研课题，技术实力获国家层面认可。
（一）射频电源核心技术
掌握高精度功率控制、宽频阻抗匹配、高稳定性射频放大等核心技术，电源输出精度达 ±0.5%，频率稳定性达 ±10ppm，动态响应速度快，适配半导体先进制程的严苛要求。其中，自适应阻抗匹配技术可在负载快速变化时实现毫秒级匹配，保障等离子体放电稳定，解决海外产品适配性差、响应慢的痛点。
（二）等离子体激发与控制技术
突破远程等离子体生成、高效激发、精准调控等技术瓶颈，研发的远程等离子体源具备高电离效率、长寿命、低污染等优势，可替代海外同类产品，应用于半导体薄膜沉积与刻蚀工艺。
（三）系统集成与可靠性技术
掌握电源系统与真空设备、工艺设备的集成适配技术，通过严苛的环境测试、老化测试、可靠性测试，产品平均无故障时间（MTBF）超 10 万小时，达到国际一流水平。同时，构建全流程质量控制体系，核心零部件自研率超 70%，保障产品一致性与交付能力。
2025年，受半导体行业短期波动、下游客户采购节奏调整及研发投入增加影响，公司业绩小幅承压，但核心盈利能力保持稳健。全年实现营业总收入 5.29 亿元，同比下降 2.09%；归母净利润 1.14 亿元，同比下降 19.57%；扣非归母净利润 1.05 亿元，同比下降 18.95%。
分业务看，自研产品收入 4.15 亿元，占比 78.4%，同比下降 9.01%，主要系下游半导体设备商订单波动；引进产品收入 0.87 亿元，占比 16.4%，同比增长 5.87%，受益于客户一站式采购需求提升；技术服务收入 0.28 亿元，占比 5.2%，同比增长 86.29%，成为业绩亮点。
盈利能力方面，2025 年公司毛利率 47.97%，同比下降 0.54 个百分点，仍维持高位；净利率 21.50%，同比下降 4.67 个百分点，主要受研发费用增加（同比增长 31.25%）、股份支付费用计提影响。期末总资产 90.09 亿元，同比增长 10.18%；归母所有者权益 80.15 亿元，同比增长 17.87%，资产负债结构稳健，抗风险能力较强。
（一）客户深耕与结构优化
采取 “核心客户深度绑定 + 新客户拓展” 策略，深化与拓荆科技、中微公司、北方华创等头部设备商的战略合作，成为其核心供应商，同步配套中芯国际、长江存储等晶圆厂，构建稳定的核心客户群。针对客户集中度较高（2025 年对拓荆科技收入占比超 60%）的风险，加速拓展屹唐股份、思锐智能、万业企业等新客户，推进客户结构多元化，降低单一客户依赖。
（二）区域市场布局
国内聚焦长三角、珠三角、京津冀三大半导体产业集群，在上海、苏州、北京、成都等地设立技术支持中心，贴近客户提供快速响应服务，提升区域市场渗透率。海外市场采取 “分步推进” 策略，优先布局中国台湾、欧洲市场，组建本地化销售与技术服务团队，2025 年海外收入实现零的突破，2026 年加速推进海外客户认证与订单落地。
（三）“产品 + 服务” 一体化策略
依托自研技术优势，为客户提供定制化射频电源系统解决方案，深度参与客户新产品研发设计，实现产品与客户工艺的高度适配。强化技术服务能力，提供原位替换、维修保养、工艺优化等全生命周期服务，提升客户粘性与附加值，2025 年技术服务收入同比增长超 80%。
（四）品牌建设与生态合作
参与半导体行业展会、技术论坛，发布新一代产品与技术成果，提升品牌影响力。与高校、科研院所建立产学研合作，共建研发平台，推进技术协同创新；与产业链上下游企业合作，构建等离子体工艺核心零部件生态，拓展应用场景。
公司采取 “总部研发 + 区域生产” 的布局模式，依托 IPO 募资与自有资金，构建深圳、沈阳两大生产基地，形成南北协同、贴近客户的生产网络，提升产能与交付能力。
（一）深圳宝安基地（总部基地）
位于深圳宝安区新桥街道，为公司现有核心生产基地，占地约 2 万平方米，拥有现代化生产车间、洁净厂房、研发实验室及可靠性测试中心，主要承担中高端射频电源系统、等离子体激发装置的研发、生产与测试任务，现有产能可满足 10 亿元以上订单需求。IPO 募投 “半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”，总投资 7 亿元，在宝安万丰海岸城建设智能化新厂区，新增年产 1.2 万台射频电源系统产能，预计 2027 年投产。
（二）沈阳产业化基地
IPO募投 “沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目”，总投资 5.2 亿元，选址沈阳浑南区，紧邻核心客户拓荆科技（距离不足 500 米），主要承担中低端射频电源系统、配件的生产任务，实现贴身服务、快速交付，覆盖东北及北方市场。项目建成后新增年产 8000 台射频电源系统产能，预计 2026 年底投产，进一步提升公司整体产能与区域市场竞争力。
（三）研发与测试平台布局
在深圳宝安建设 “研发与前沿技术创新中心”，总投资 3.6 亿元，聚焦 5nm 及以下先进制程射频电源、新一代等离子体激发装置等前沿技术研发，构建国际一流的研发与测试平台。同时，在上海、北京设立研发分支机构，吸引高端人才，贴近客户开展定制化研发。
公司以“成为国际一流的等离子体工艺核心零部件平台型企业”为战略目标，2026-2028 年聚焦技术研发、产能扩张、市场拓展、产品多元化四大核心方向，实现营收与利润稳步增长，巩固国产替代领先地位，缩小与国际巨头差距。
（一）技术研发规划
持续加大研发投入，2026-2028 年研发费用累计超 5 亿元，研发人员占比提升至 50% 以上。加速推进 Cedar 系列 5nm 射频电源研发与量产，2026 年 Q2 实现量产，2027 年全面推广，缩小与国际巨头 MKS、AE 的技术差距。拓展低频大功率射频电源、PVD 直流溅射电源、新一代远程等离子体源等产品研发，完善产品矩阵，覆盖更多工艺场景。布局等离子体工艺智能化控制、下一代半导体电源技术等前沿领域，构建技术壁垒，支撑长期发展。
（二）产能扩张规划
2026年加速沈阳产业化基地建设，年底实现投产，新增 8000 台产能；2027 年深圳宝安智能化基地投产，新增 1.2 万台产能；2028 年完成产能爬坡，整体产能突破 3 万台，较 2025 年翻倍，满足下游市场需求。同步推进生产智能化升级，引入自动化生产线、智能检测设备，提升生产效率、产品良率与一致性，降低生产成本。
（三）市场拓展规划
国内深化核心客户合作，加速拓展新客户，2028 年核心客户数量翻倍，降低单一客户依赖至 30% 以下。海外市场 2026 年完成中国台湾、欧洲销售网络搭建，实现批量订单落地；2027-2028 年拓展日韩、东南亚市场，海外收入占比提升至 15% 以上，实现从 “国产替代” 到 “全球竞争” 的跨越。拓展光伏、显示面板、精密光学、新能源等非半导体领域市场，2028 年非半导体收入占比提升至 20%，分散行业周期风险。
（四）产品多元化规划
坚持 “内生研发 + 外部并购” 双轮驱动，内生拓展质量流量计、真空阀门等真空与流体控制类产品，推进核心零部件全面国产化。外部并购聚焦等离子体工艺相关的高端零部件企业、技术团队，补充技术短板，完善产品矩阵，加速向平台型企业转型。2028 年实现产品品类翻倍，成为国内唯一覆盖射频电源、等离子体激发装置、真空获得、流体控制的等离子体工艺核心零部件供应商。
（一）对外投资布局
聚焦半导体核心零部件产业链，围绕 “技术协同、产能互补、市场拓展” 三大原则开展对外投资。产业链上游投资半导体芯片、功率器件、精密电子元件等核心零部件企业，保障核心原材料供应，降低采购成本，提升供应链稳定性。产业链下游投资半导体设备初创企业、晶圆厂配套企业，深化客户合作，拓展应用场景，提升产品渗透率。
区域投资方面，重点布局深圳、沈阳、上海、北京等半导体产业集群区域，投资建设研发中心、生产基地、技术支持中心，完善区域布局，贴近客户提供服务。海外投资优先布局中国台湾、欧洲，设立子公司、研发中心与销售团队，整合海外优质资源，推进国际化战略落地。
（二）并购计划
公司将并购作为快速补齐技术短板、完善产品矩阵、拓展市场渠道的核心手段，聚焦三大并购方向。一是技术型并购，瞄准海外等离子体电源、高端真空零部件领域的专精特新企业、核心技术团队，获取先进技术、专利与研发人才，加速先进制程产品研发，缩小与国际巨头差距。二是产品型并购，并购真空获得、流体控制、等离子体工艺配套设备等领域的企业，补充产品品类，完善整体解决方案能力，向平台型企业转型。三是市场型并购，并购海外半导体设备零部件经销商、技术服务企业，获取客户资源与销售渠道，加速海外市场拓展，提升全球市场份额。
并购策略上，坚持 “小而精、分步实施”，优先并购估值合理、技术协同性高、盈利稳定的企业，2026-2028 年计划完成 3-5 起并购，总投资不超过 10 亿元，通过并购整合快速提升公司综合竞争力。同时，加强并购后整合管理，实现技术、人才、市场、产能的深度协同，充分发挥并购价值。
公司所处的等离子体射频电源系统行业呈现 “海外巨头垄断、国内厂商追赶” 的竞争格局，海外厂商占据中国大陆市场约 88% 份额，国产厂商市占率不足 12%，恒运昌为国产厂商龙头，市占率约 6.1%。
（一）海外竞争对手（国际巨头）
1.MKS（美国）：全球等离子体射频电源系统绝对龙头，市占率超50%，技术领先，产品覆盖全制程，高端市场垄断地位稳固，拥有完整的技术体系与专利壁垒，客户资源覆盖全球头部半导体设备商与晶圆厂。
2.AE（Advanced Energy，美国）：全球第二大厂商，市占率约 25%，技术实力雄厚，产品性能稳定，在射频电源、等离子体控制领域拥有多项核心专利，聚焦高端半导体与工业市场。
3.霍廷格（德国）：欧洲领先厂商，专注于中高端射频电源与等离子体设备，产品精度高、稳定性强，在光伏、显示面板领域市场份额较高。
4.DAIHEN（日本）：亚洲重要厂商，产品聚焦中低端制程，性价比优势明显，在日韩半导体市场拥有一定份额。
（二）国内竞争对手（追赶者）
1.英杰电气：国内电源设备龙头，布局半导体射频电源领域，技术实力较强，产品覆盖中低端制程，客户资源丰富，在光伏、半导体设备领域拥有一定市场份额，2025 年射频电源业务快速增长。
2.华丞电子：专注于等离子体射频电源研发生产，产品适配中低端半导体工艺与光伏领域，性价比优势明显，区域市场渗透率较高。
3.北方华创：国内半导体设备龙头，自研射频电源配套自有设备使用，内部供应为主，逐步对外拓展，技术实力雄厚，依托设备整机优势，市场潜力较大。
4.其他中小厂商：包括深圳威科、上海宏力等，聚焦低端制程与细分市场，产品技术水平较低，规模较小，市场份额有限。
（三）公司竞争优势
相较于海外巨头，恒运昌具备性价比高、响应速度快、定制化能力强、本土服务完善等优势，产品价格较海外同类产品低 30%-50%，可快速响应客户定制化需求，提供本地化技术服务，适配国内半导体设备国产化与工艺迭代需求。相较于国内竞争对手，公司具备技术领先、产品矩阵完善、客户资源优质、研发实力雄厚等优势，是国内唯一实现 7-14nm 先进制程射频电源量产的厂商，核心技术自主可控，专利壁垒深厚，客户覆盖国内头部半导体设备商与晶圆厂。
参考文献:
1.深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 2025 年年度报告 [R]. 上海证券交易所，2026-04-28.
2.深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书 [R]. 上海证券交易所，2026-01-22.
3.恒运昌 2025 年度业绩快报公告 [R]. 证券日报，2026-02-27.
4.华安证券。核心新股周巡礼系列 10：恒运昌招股书梳理 [R]. 2026-02-09.
5.华金证券。恒运昌：国产半导体射频电源龙头，国产替代空间广阔 [R]. 2026-01-28.
6.上海证券报。恒运昌：深耕等离子体射频电源系统领域，深度协同高端装备制造产业链 [N]. 2026-01-16.
7.证券时报。国产半导体核心部件龙头冲刺科创板，恒运昌技术业绩双轮驱动开启资本新征程 [N]. 2025-11-12.
8.证券日报。恒运昌冲刺科创板，半导体核心部件 “小巨人” 开启资本新征程 [N]. 2025-11-11.
9.21世纪经济报道。半导体 “开门红”，射频电源龙头科创板上市 [N]. 2026-01-28.
10.科创板日报。恒运昌科创板 IPO 过会，系半导体射频电源系统龙头 [N]. 2025-11-14.
11.弗若斯特沙利文. 2024 年中国大陆半导体等离子体射频电源系统市场研究报告 [R]. 2025-06.
12.恒运昌. 2026 年第一季度报告 [R]. 上海证券交易所，2026-04-28.
13.恒运昌。投资者关系活动记录表（2026-02-05）[R]. 东方财富网，2026-02-05.
14.新浪财经。恒运昌 2025 年营收 5.29 亿元同比降 2.09%，归母净利润 1.14 亿元同比降 19.57%[N]. 2026-04-27.
15.今日头条。恒运昌科创板新股解析：半导体设备国产化领军企业 [N]. 2026-01-16.
16.今日头条。一文看懂恒运昌：国产等离子体射频电源龙头的成长逻辑 [N]. 2026-04-13.
17.格隆汇。恒运昌：射频电源三年高速增长，单一客户依赖，25 年断崖下跌 [N]. 2026-04-06.
18.东方财富网。恒运昌：将加速推进境外业务拓展，拓展中国大陆以外的市场 [N]. 2026-02-05.
19.发现报告。恒运昌 IPO：国产半导体射频电源系统龙头的成长与挑战 [R]. 2026-02-13.
20.国家企业信用信息公示系统。深圳市恒运昌真空技术股份有限公司工商信息 [EB/OL]. 2026-04-29.
本文根据网络公开信息整理，部分内容由AI生产
内容仅作为行业分析参考，不构成任何投资建议
版权归企业及引文原作者所有，如有侵权，请联系删除
