深圳市恒运昌真空技术股份有限公司,为科创板上市公司(恒运昌股份,股票代码688785)是国内领先的大规模集成电路晶圆前道薄膜沉积、等离子体刻蚀、光刻、去胶、离子注入及键合等设备的核心零部件供应商,公司围绕等离子体工艺提供核心零部件的整体解决方案。
公司创立于2013年,深耕等离子体工艺赛道,契合“新一代信息技术"与“高端装备制造"两大战略新兴产业方向,聚焦半导体设备核心零部件国产化突破。
核心业务涵盖等离子体射频电源系统等相关产品的设计、研发、生产、销售及技术服务,凭借自主研发打破国外数十年垄断,产品技术达国际先进水平,填补国内空白,是国产半导体供应链自主可控的核心力量。