自动化设备专家「深圳超磁」,邀您参加先进半导体展(FINE2026)

2026未来产业新材料博览会（FINE）

第十届国际碳材料产业博览会(Carbontech 2026) 

热管理产业博览会(iTherM 2026)

FINE 2026，以40,000平展区与超过300场科技与产业报告，围绕AI数据中心、具身智能、低空经济、航空航天、智能汽车等产业的五大共性关键需求（先进半导体、先进电池、轻量化、低碳可持续、热管理），呈现从终端、部件、材料、技术装备到前沿科技的全链条创新成果，打造一站式交流、合作与采购平台。

热烈欢迎【深圳超磁机器人科技有限公司】亮相FINE2026展，展位号N1B20，6月10-12日，上海新国际博览中心（N1-N4），欢迎洽谈合作与指导。

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深圳超磁机器人科技有限公司成立于2017年，是一家专注于实验室自动化及实验室机器人研发、生产和销售的高科技企业。自成立以来，超磁已获得国家专利两百余项，被授予“深圳市工业机器人大师工作室”称号，获得国家高新科技企业认证、深圳市“专精特新”中小企业认证。

在自动化设备研发的深厚根基之上，公司成功研发出 MPCVD （微波等离子体化学气相沉积）设备，并顺利生产出单晶金刚石与多晶金刚石材料。

超磁的产品和服务有：实验室机器人及自动化解决方案、MPCVD整机设备和配件、进口电源、电源升级、MPCVD设备升级（6KW升级到10KW）、激光切割机、磨钻机、单晶金刚石、多晶金刚石等。

（1）微波等离子体化学气相沉积设备 MPCVD-10A

MPCVD-10A型为圆柱腔设备，适于沉积单晶、多晶金刚石薄膜，类金刚石薄膜的化学气相沉积及材料表面处理、改性及掺杂等相关工作。配备升降、旋转样品台，样品台可360°旋转，转速可调。特殊设计专用生长台，适合多种衬底沉积金刚石薄膜。

◆同一腔体可适用6~15KW电源

◆生长台有效直径60~85mm

◆样品台可升降、旋转

◆核心零部件全进口

◆不烧玻璃

◆质量可靠，性能优越，漏率低

◆微波等离子体能量集中，形状可调节

◆零部件模块化，节省工艺成本

◆远程控制

升级内容：

电源、磁控头、波导、腔体、控制程序

产能升级：升级后10*10可放37片

（3）激光切割机 G532-20

G532-20型激光器切割机具有切边、切面、修面等功能。内置工艺包可实现不同形状的切割，包括直线、折线、方形、圆形、椭圆形、心形、三角形、水滴形、不规则形状等。

性能特点：

◆端泵激光源，功率更稳定，维护成本低

◆000级进口大理石机台，稳定性更好

◆自主研发切割软件，内置工艺，参数设置更合理

◆图形化软件设计，更容易操作

◆切割面达镜面效果

◆自主运动控制系统，精度更高

◆高性能核心零部件，更可靠

◆自带废气净化系统，车间空气更清洁

DG4-60型金刚石磨片机具有粗磨、细磨等功能。可适用于不同尺寸的单晶金刚石磨抛。

性能特点：

◆打磨精度高，Ra≤10nm

◆多种治具，适配4英寸以下各类晶体加工

◆夹具下压力可调，适配不同打磨场景

◆高性能力矩控制，精准把控打磨厚度

◆优化水道设计，台面无溅水

◆自研软件，任意编辑打磨参数

◆高效率加工，支持4工位同时打磨

性能特点：

◆抛光精度高，Ra≤2nm

◆适配8英寸以下晶体加工

◆气浮压力控制，下压力可调

◆优化水道设计，台面无溅水

◆高效率加工，支持2工位同时打磨

◆无限存储工艺程序

李经理

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