1、BF系列大宗气体专用过滤器

BF系列大宗气体专用过滤器，专为超高纯工艺气体在线过滤应用设计，采用全316L不锈钢精密打造多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损，过滤精度高达0.003um，满足超高纯工艺需求。整体金属构造，是高温动态环境下的理想过滤解决方案。

2、TF系列工艺气体专用过滤器

TF系列工艺气体专用过滤器，精准清除UHP超纯气流微粒，保障生产纯净度。其安装简便，仅需气路对接与螺母紧固，避免焊接风险，确保密封无忧。采用顶级316L不锈钢全材打造，结构紧凑轻盈，大幅降低压力损耗，展现卓越微粒过滤效率，是工艺气体净化的理想之选。

3、SF系列IGS面板专用过滤器

SF系列IGS面板专用过滤器，用于半导体行业集成气体输送与控制系统，兼容C型和W型多种密封规格，实现0.003μm级高效颗粒过滤，保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量，助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级，安装维护便捷高效。

4、OF系列在线式气体专用过滤器

OF系列在线式气体专用过滤器，专为高流量电子级气体超纯净化设计，过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高，与多种半导体工艺气体兼容，尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳，确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒，在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。

5、MF系列仪器保护专用过滤器

MF系列仪器保护专用过滤器，全金属材质，专为半导体气体分配系统设计，兼容1/4’、3/8’及1/2’VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装，是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下，能有效阻隔微粒侵袭，守护敏感气体组件，延长设备寿命，预防因微粒污染导致的泄露风险。可选择低压型或高压型，也可在现有配管上安装，为精密设备提供经济高效的防污屏障。

6、DF系列扩散器专用过滤器

DF系列扩散器专用过滤器，结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。独特的全316L不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，对工艺室环境造成影响，有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计，灵活适应各类安装空间。

7、HF系列高压气体专用过滤器

HF系列高压气体专用过滤器，用于高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统。坚固的316L不锈钢结构和50Mpa设计压力以及相对较轻的重量相结合，兼具高强度、耐高温、耐腐蚀、高透气性及长寿命，能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及碳氢化合物，保护系统免受污染，从而提升气体质量、保障设备高效运行。滤芯可更换，维护简便。

8、KF系列真空系统气体过滤器

KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统，特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程，有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下，可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各类真空室(装载锁、传输、冷却、工艺腔体)的通风，适合短时间内传递大量气体流的场合。

9、RF系列多孔金属限流器

RF系列多孔金属限流器，通过与不同规格的气阻配件结合，安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中，以防止由于气体管线破裂、阀门或压力调节器故障，引起的意外高气体流量。在半导体制程气体输送分配系统中，用于保护气体流量稳定可靠，减少气体流动负担，避免气体过载引发不良后果。结构坚固，更换便捷。