



2月9日,深圳市宝安区工业和信息化局发布《宝安集成电路高端装备产业园重点产业项目遴选方案(含竞买资格条件)》的公示。项目总用地面积约1万平方米,计容建筑面积约3.7万平方米,建成达产后预计年产值可达15亿元,年税收达0.81亿元,意向用地单位为深圳市恒运昌真空技术股份有限公司。
值得关注的是,2026年1月28日,恒运昌在上交所科创板挂牌上市,成为2026年深圳首家A股上市企业。上市募资资金净额约14亿元,拟购置厂房建设沈阳半导体射频电源系统产业化项目,以及深圳半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地、研发与前沿技术创新中心项目。
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一、项目名称
宝安集成电路高端装备产业园(简称“本项目”)
二、意向用地单位
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(简称“意向用地单位”)
三、项目必要性和可行性研究
(一)必要性:
一是本项目紧扣国家集成电路产业高质量发展的核心任务,主攻射频电源系统等领域研发制造,属于国家重点支持的关键零部件攻关方向。本项目的建设,将有助于国家持续推动射频电源系统供应链自主化进程,维护国内集成电路产业安全发展;同时,将强化深圳在集成电路核心零部件的配套能力,是深圳市打造世界级集成电路产业集群、实现产业链整体跃升的重要支撑。
二是意向用地单位是国内领先的半导体设备核心零部件供应商,持续攻关等离子体射频电源系统领域技术瓶颈,先后推出CSL、Bestda、Aspen等系列产品,量产交付国内头部半导体设备商及晶圆厂,打破多年来海外巨头在国内的垄断格局。本项目的实施,将推动企业持续加大核心技术投入,打造射频电源国产化创新平台,构建更加完整、更高层次的集成电路产业链供应链,推动产业技术升级与产品迭代,促进产业链上下游协同创新。
三是意向用地单位在深圳市无自有产业用地和用房,目前租赁的生产经营场所不足1.1万平方米,无法满足其生产研发需求,严重制约了公司业务规模扩张。通过本项目建设,企业可引进性能更优、智能化水平更高的生产制造设备、测试设备及仓储系统,提高产品生产效率,扩大产销规模,更好地满足行业发展需要。
(二)可行性:
1.技术可行性:意向用地单位是国家专精特新重点“小巨人”制造业单项冠军企业,专注于等离子体射频电源系统领域技术创新与人才培养,近三年研发费用占营收比重均超过10%,研发人员占比超40%。企业拥有104项授权发明专利,参与编制半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据、半导体器件通用鉴定指南、真空技术真空泵性能测量标准方法等国家标准,承担了3项国家级重大科研课题,具有良好的产业技术基础。
2.市场可行性:全球半导体设备市场保持稳定增长,根据SEMI数据,2011至2024年全球半导体设备市场规模增长了735亿美元、达到1170亿美元,2025年将达到1255亿元、同比增长7.4%。意向用地单位2022年至2024年营收和产值复合增长率均超过80%,且产能扩张和业务订单增速较高,业绩成长确定性较强。
3.经济可行性:意向用地单位2023年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统市场份额位列第一,拥有领先的市场份额,具备良好的盈利能力和稳健的财务状态,项目资金保障充分,可支撑项目建设、持续的研发投入及市场扩张。
(三)建设内容:
本项目计划建设宝安集成电路高端装备产业园,主要建设生产厂房、配套研发及其他生产配套设施,拟用于等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源及各种配件的生产、研发及技术服务。
(四)初步建设规模:
项目规划占地面积约1万平方米,拟规划建设建筑面积约3.7万平方米,容积率约3.7,用地性质为普通工业用地(M1)(以土地使用权出让合同为准)。其中,生产厂房等主导功能建筑面积不低于2.59万平方米,占比不低于70%;配套用房面积不高于1.11万平方米,占比不高于30%(以规资部门出具的规划设计要点为准)。
四、项目准入条件
(一)产业类型:
符合《深圳市产业结构调整优化和产业导向目录(2016年修订)》中鼓励发展类A19先进制造业,属于深圳市“20+8”战略性新兴产业和未来产业集群。
(二)生产技术:
1.竞买申请人具备围绕等离子体工艺提供集成电路、真空装备领域一体化解决方案的能力,产品工艺可支撑14纳米以上先进制程,实现国产替代;
2.竞买申请人获授权发明专利不少于100项,参与或主导制定的国家标准、团体标准不少于8项。
(三)产业标准:
1.竞买申请人属于国家专精特新重点“小巨人”企业,获得省级以上制造业单项冠军荣誉;
2.竞买申请人建有省级及以上射频开关电源工程技术研究中心。
(四)产品品质:
1.竞买申请人产品通过ISO9001质量管理体系认证、ISO14001环境管理体系认证;
2.竞买申请人产品获得工业和信息化部科学技术成果登记证书。
(五)项目社会经济效益:
1.投产时间:开工竣工时间以《土地使用权出让合同》约定时间为准,应于项目竣工验收后1年内投产。
2.投资强度:项目固定资产投资强度(固定资产投资额/项目计容建筑面积)不低于10000万元/万平方米,即项目固定资产投资总额不低于3.7亿元。
3.产出效率:项目投产后第1年产出效率(项目年工业产值(年营收)/项目计容建筑面积)不低于4.06亿元/万平方米,即投产后第1的年总产值不低于15亿元;投产后每隔5年、出让期届满前1年产出效率平均不低于4.06亿元/万平方米,即投产后每隔5年、出让期届满前1年的年总产值平均不低于15亿元。
4.产值能耗:项目投产后每年产值能耗不高于0.137吨标准煤/万元(年综合能源消费量/项目年产值(年营收))。
5.税收强度:项目投产后每隔5年、出让年期届满前1年的税收强度(年均纳税额/项目计容建筑面积)平均不低于2200万元/万平方米,即年均纳税额不低于8140万元。纳税额=税务自缴税款总额+出口货物增值税“免抵”税额调库。
五、项目用地情况
(一)用地规模:10000平方米(以土地出让合同为准)
(二)用地功能:普通工业用地(M1)
(三)建设规模:37000平方米(以土地出让合同为准)
(四)土地供应方式:“带产业项目”挂牌出让
(五)期限:30年
(六)权利限制:
1.项目建设用地使用权及建筑物允许抵押,应以宗地内的所有建筑物进行抵押,但抵押金额不得超出合同剩余年期地价与建筑物的残值之和,项目建设用地使用权及建筑物不得转让、不得出租;确有出租需要的,出租比例原则上不超过建筑面积的20%,且应当在产业发展监管协议中明确约定租赁面积比例、租金标准、租赁对象及违约处置措施。
2.人民法院强制执行拍卖或者变卖项目建设用地使用权的,次受让人应当承接原国有建设用地使用权出让合同及产业发展监管协议规定的受让人责任及义务,原国有建设用地使用权出让合同约定的土地使用条件不变。人民法院强制执行又无符合条件的次受让人的,其建设用地使用权及地上建(构)筑物由区政府回购。
3.项目建设用地使用权以及附着于该土地上的建(构)筑物及其附属设施不得以股权转让或变更的方式变相转让。
(七)竞买资格条件:
1.竞买申请人为中华人民共和国境内注册的企业法人。
2.竞买申请人应当符合《深圳市工业及其他产业用地供应管理办法》(深府规〔2019〕4号)、《深圳市人民政府关于延长工业及其他产业用地供应管理办法有效期的通知》(深府规〔2025〕1号)等规定的遴选要求,并通过重点产业项目遴选。
六、环境保护要求
在生产过程中,粉尘、废水、废气、废渣、噪声等排放和产生符合国家、省、市环保政策和法律法规的标准和要求。
根据《深圳市工业及其他产业用地供应管理办法》(深府规〔2019〕4号)、《深圳市人民政府关于延长工业及其他产业用地供应管理办法有效期的通知》(深府规〔2025〕1号)等规定,现对《宝安集成电路高端装备产业园重点产业项目遴选方案(含竞买资格条件)》予以公示,公示时间为2026年2月9日9时起,至2月13日18时止。如对该方案有异议,请于公示期间通过电话、邮件、信函等方式向深圳市宝安区工业和信息化局反映(信函以到达日邮戳为准)。
电话:0755-27848862
电子邮箱:bajcjbgs@baoan.gov.cn
通信地址:深圳市宝安区新安三路海关大厦1306室
信息来源:
http://www.baoan.gov.cn/bajjcj/gkmlpt/content/12/12637/post_12637228.html#5224
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